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微米定位平台

压电纳米位移台
压电纳米位移台
材料:默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版)
规格:默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版)
描述:20HZ驱动频率,无声运动• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选• 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm• 最小步伐约10 nm• ···
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    20HZ驱动频率,无声运动

    • 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)

    • 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选

    • 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm

    • 最小步伐约10 nm

    • 可提供多轴堆叠安装转接件

    • 控制器兼容旋转台,摇摆台

    •高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件


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