纳米位移电容传感器

高动态运动伺服器通过优化控制输入/输出摆率和电源瞬态特性，引入增益动态调整、相差动态补偿和高频增益补偿等自适应机制，实现了系统性能和鲁棒性的混合优化。在不同负载条件下同时具备高精度定位控制能力和各种复杂轨迹的高动态性能跟踪能力。

技术特点：

• 自适应频带整形控制技术

• 基于运动模式和工况的智能控制策略自动切换

• 在大负载范围内同时具备高动态、高精度

• 可调整的控制和采样频率以适应不同惯性的系统

• 多控制通道优化设计，其输入输出、控制算法、控制结构、传感器、放大器等均可单独配置；通道之间也可配置为复合/同步/协同模式

• 优化的数字滤波算法，可配置传感器的带宽、延迟、精度组合以适应不同的应用

• 集成多种波形函数发生和自定义轨迹输入，最大支持32M浮点数的轨迹缓存

• 内置低噪声高带宽功率放大器，从算法到硬件保证对高动态应用的支持

• 可配置不同的放大器驱动不同的负载，如PZT，音圈电机等

• CDM系列通用电容传感器前置放大，支持直接电容传感器连接内置信号调理插件，可根据不同应用的信号特点调整

应用范围：

• 精密定位

• 超精密快速跟踪

• 激光加工

• 光束扫描

• 宏微双动平台